TSMC 강진 피해 심각 ASML 한국서 엔지니어 EUV 부품 급파
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ASML의 국내 법인 소속 엔지니어들이 대거 지원
일부 웨이퍼 손상이 발생하면서 피해 규모만 838억 원에 달할 것으로 추정된다. 특히 TSMC 공장 내 EUV(극자외선)·DUV(심자외선) 노광장비의 유지·보수를 위해 수십 명의 한국 ASML 엔지니어들이 대만 현지로 향할 예정이다.
한국에 있는 EUV 부품도 대거 끌어가고 있는 것으로 알려졌다
TSMC는 지진 발생 10시간 만에 웨이퍼 팹 장비 복구율은 70% 수준이며 대만 타이난 남서부에 있는 최신 공장 '팹18'의 복구율도 80%라고 입장